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晶圓表面缺陷檢測:半導體制造中的關鍵質(zhì)量控制環(huán)節(jié)
2025-01-22

在半導體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎載體,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。晶圓在生產(chǎn)過程中,由于多種因素的影響,如材料純度、制造工藝、設備精度等,表面可能會出現(xiàn)各種缺陷,如劃痕、顆粒污染、裂紋、氧化層異常等。這些缺陷不僅會降低芯...

  • 2020-10-19

    美國Microsense位移傳感器具有一系列顯著的特點,使其在各種應用場合中表現(xiàn)出色。以下是關于Microsense位移傳感器特點的一些詳細介紹:1.高準確性與靈敏性:該傳感器具備高準確性的測量能力,其高精度可達0.5nm,這使得它在需要精確測量的場合中表現(xiàn)出色。此外,它的高靈敏性也確保了即使在微小的位移變化下,也能產(chǎn)生明顯的信號響應。2.優(yōu)化的近距離測量:Microsense位移傳感器特別適用于近距離測量,其測量距離在10微米到5毫米之間,這使得它在微小物體或結構的位移測量...

  • 2020-10-13

    Thetametrisis膜厚儀是一種用于測量薄膜厚度的儀器,具有精密的測量功能和廣泛的應用范圍。以下是Thetametrisis膜厚儀的特點及工作原理:特點:1.高精度測量:儀器采用先進的光學技術和精密的傳感器,能夠?qū)崿F(xiàn)對薄膜厚度的高精度測量,通??梢赃_到納米級別的測量精度。2.快速測量:它具有快速測量的特點,可以在短時間內(nèi)完成對薄膜厚度的測量,提高生產(chǎn)效率和檢測速度。3.非破壞性測量:儀器采用非接觸式測量方式,對被測樣品幾乎沒有破壞性,適用于對薄膜進行精密測量和表征。4....

  • 2020-10-09

    EVG510-晶圓鍵合機是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,例如陽極,玻璃粉,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進行快速便捷的重新工具化,轉換時間不到5分鐘。EVG510-晶圓鍵合機特征:1.壓力和溫度均勻性。2.兼容EVG機械和光學對準器。3.靈活的設計和配置,用于研究和試生產(chǎn)。4.將單芯片形成晶圓。5.各種工藝(共晶,焊料,TLP,直接鍵合)。6.可選的渦輪...

  • 2020-09-29

    Thetametrisis膜厚儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案,要求的光斑尺寸小到幾個微米,如微圖案表面,粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺計算機控制的XY工作臺,使其快速、方便和準確地描繪樣品的厚度和光學特性圖。Thetametrisis膜厚儀利用FR-Mic,通過紫外/可見/近紅外可輕易對局部區(qū)域薄膜厚度,厚度映射,光學常數(shù),反射率,折射率及消光系數(shù)進行測量。Thetametrisis膜厚儀使用優(yōu)勢:1、實時光譜測量。2、薄膜厚度,光學特性,非均勻性...

  • 2020-09-27

    單面/雙面掩模對準光刻機支持各種標準光刻工藝,如真空,硬,軟接觸和接近式曝光模式,可選擇背部對準方式。此外,該系統(tǒng)還提供其他功能,包括鍵合對準和納米壓印光刻(NIL)。EVG610提供快速處理和重新加工,以滿足不斷變化的用戶需求,轉換時間不到幾分鐘。其先進的多用戶概念適合初學者到專家級各個階層用戶,非常適合大學和研發(fā)應用。EVG單面/雙面掩模對準光刻機特征:1、晶圓/基片尺寸從零碎片到200毫米/8英寸。2、臺式或獨立式帶防振花崗巖臺面。3、敏捷的處理和轉換重新加工。4、分步...

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